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預(yù)燒結(jié)貼合機(jī)

型號(hào):SDB200

預(yù)燒結(jié)貼合機(jī)面向功率半導(dǎo)體芯片貼裝市場(chǎng),配備功能更加強(qiáng)大的BONDHEAD系統(tǒng),除了高精度貼合功能外,還具備保壓、加熱功能。配合高精度的加熱系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)電子元器件的預(yù)燒結(jié)貼合。

產(chǎn)品介紹:

預(yù)燒結(jié)貼合機(jī)SDB200面向功率半導(dǎo)體芯片貼裝市場(chǎng),配備功能更加強(qiáng)大的BONDHEAD系統(tǒng),除了高精度貼合功能外,還具備保壓、加熱功能。配合高精度的加熱系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)電子元器件的預(yù)燒結(jié)貼合。


應(yīng)用范圍:

預(yù)燒結(jié)固晶機(jī)適用于IGBT、SiC、DTS、電阻等高溫預(yù)燒結(jié)工藝,主要應(yīng)用于功率模塊、電源模塊、新能源、智能電網(wǎng)等產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域。


產(chǎn)品特點(diǎn):

高速、高精度固晶能力

具備加熱功能的貼裝頭和貼裝平臺(tái)

高精密溫控系統(tǒng)

精準(zhǔn)的力控系統(tǒng)

支持wafer上料

支持自動(dòng)更換吸嘴

支持自動(dòng)更換頂針座

設(shè)備結(jié)構(gòu)緊湊,占地小




項(xiàng)目詳細(xì)參數(shù)
貼裝精度(um)±10
旋轉(zhuǎn)精度 (@ 3sigma)±0.15°
貼裝角度偏差±1°
貼裝Z 軸力控 (g)50-10000
力控精度(g)50-250g,重復(fù)精度/±10g;
250g-8000g,重復(fù)精度±10% ;
貼裝頭加熱溫度Max.200℃
貼裝頭旋轉(zhuǎn)角度Max.345°
貼裝頭冷卻空氣/氮?dú)饫鋮s
芯片尺寸(mm)0.2*0.2~20*20
wafer尺寸(英寸)
貼裝工作臺(tái)加熱溫度Max.200℃
貼裝工作臺(tái)加熱區(qū)域溫度偏差<5℃
貼裝工作臺(tái)可用范圍(mm)380×110
貼裝頭XYZ行程(mm)300x510x70
設(shè)備可換吸嘴個(gè)數(shù)
設(shè)備可換頂針模塊個(gè)數(shù)
基板上料方式手動(dòng)
芯片上料方式半自動(dòng)(手動(dòng)放wafer盤,自動(dòng)取芯片)
核心運(yùn)動(dòng)模組直線電機(jī)+光柵尺
機(jī)器平臺(tái)基座大理石平臺(tái)
機(jī)器主體尺寸(長(zhǎng)X寬X高,mm )1050X1065X1510
設(shè)備凈重約900kg


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